Kỹ thuật chế tạo màng mỏng
Kỹ thuật chế tạo màng mỏng
4.5
Lượt xem
0
Đã bán
Chọn sản phẩm
Sách giấy
Tạm hết hàng
Thông tin xuất bản
NXB
NXB Đại học Quốc gia TP.HCM
Người dịch:
Năm XB:
Loại sách:
Sách giấy;
Khổ sách:
14.5 x 20.5
Số trang:
228
Quốc gia:
Ngôn ngữ:
Mã ISBN:
978-604-73-2790-4
Mã ISBN Điện tử:
Giáo trình bao gồm bảy chương, trình bày về các kỹ thuật chế tạo màng từ pha dung dịch và pha hơi. Bao gồm các phương pháp như mạ điện, sol-gel, lắng đọng hơi hóa học (CVD), lắng đọng lớp nguyên tử (ALD), bốc bay nhiệt, bốc bay chùm điện tử, lắng đọng màng bằng xung laser (PLD), phún xạ diode phẳng, phún xạ magnetron, phún xạ chùm ion, epitaxy chùm phân tử (MBE) và phun nhiệt. Ngoài ra, kỹ thuật khắc (lithography) cũng được trình bày như một phương pháp được dùng để biến đổi màng mỏng thành các chi tiết linh kiện ở cấu trúc nano, micro.

Bình luận

0/1500

Tin nổi bậtXem toàn bộ

Tuyển tập hay nhất

Tuyển tập hay nhất