Giáo trình bao gồm bảy chương, trình bày về các kỹ thuật chế tạo màng từ pha dung dịch và pha hơi. Bao gồm các phương pháp như mạ điện, sol-gel, lắng đọng hơi hóa học (CVD), lắng đọng lớp nguyên tử (ALD), bốc bay nhiệt, bốc bay chùm điện tử, lắng đọng màng bằng xung laser (PLD), phún xạ diode phẳng, phún xạ magnetron, phún xạ chùm ion, epitaxy chùm phân tử (MBE) và phun nhiệt. Ngoài ra, kỹ thuật khắc (lithography) cũng được trình bày như một phương pháp được dùng để biến đổi màng mỏng thành các chi tiết linh kiện ở cấu trúc nano, micro.
Giáo trình "Kỹ thuật chế tạo màng mỏng" được biên soạn chủ yếu để làm tài liệu học tập và tham khảo cho sinh viên và học viên cao học học các môn có liên quan đến kỹ thuật và vật liệu màng mỏng mà người viết đã và đang giảng dạy tại Khoa Vật lý - Vật lý kỹ thuật, Khoa Khoa học Vật liệu, Trường ĐH Khoa học Tự nhiên – Đại học Quốc gia TP Hồ ChíMinh.
Bình luận